石英砂照片见图1 。②高纯二氧化硅经过化学还原反应生成金属级硅,再与氯化氢气体反应生成甲硅烷、三氯氢硅等中间化合物;然后通过化学气相沉积与高纯氢气反应,使超高纯单质硅沉积在多晶硅籽晶棒上,形成多晶硅棒 。此时硅的杂质浓度降低到十亿分之一原子以下,是迄今为止世界上纯度最高的人造物质 。
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