我国能生产光刻机吗?
【一台EUV光刻机,紫外光刻机】当然可以 。我国上海微电子装备有限公司是专门研发和生产光刻机设备的科技公司 。光核机技术水准在90纳米 。无锡影速半导体科技有限公司,是由中科院微电子研究所联合业内资深技术团队成立的微电子高科技公司,生产亚微米半导体制版光刻设备等,技术水准在200纳米 。合肥芯硕半导体有限公司,这家成立比较早,2006,是承担国家两项02专项任务民营高科技公司,主要生产半导体光刻设备 。
水准200纳米内 。京先腾科技有限公司,发起人杜成群 。杜成群博士先在清华任教,后留学荷兰,在荷兰ASM?公司从事光刻研究,拥有60多项光刻技术专利 。2010回国为国内芯片出力 。水准在800纳米 。还有许多公司都在研发光刻设备 。有共同特点都是起步较晚,要赶上国际水准,还需付出更多努力 。需要更多人才投入 。
我国的光刻机发展到什么地步了?
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