7纳米光刻机 中国首台7纳米光刻机

2018年全年 , ASML生产了18台光刻机 , 2019年将生产30台 , 其中18台已经被台积电购买 , 我国大陆的中芯国际有1台 。

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ASML垄断了光刻机市场 ASML(阿斯麦)是荷兰一家非常低调的大佬级企业 , 主营光刻机 , 尤其是芯片级的EUV(极紫外光刻机) , 只有ASML能够生产7nm的UEV光刻机 , 垄断了全球80%的光刻机市场 。
ASML的光刻机非常昂贵 , 单台售价高达1.2亿美元 , 关键是产量有限 , 需要提前预定 , EUV光刻机包含了5万多个零件 , 从下单到正式交货 , 需要21个月 。2017年是中芯国际成功预定一台7nm的EUV光刻机 , 预计今年能够成为到货 。
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为什么中国大陆很难购买? 我国为了能够购买一台先进的ASML光刻机 , 可以说是费尽周折 , 即便有钱也很难购买 , 为什么呢?
原因1:ASML独特的合作模式
ASML有一个非常奇特的规定 , 只有投资了ASML , 才能获得优先供货权 , 也就是所谓的“抱团” , 这种合作模式给ASML提供了大量的资金 , 包括英特尔、三星、台积电、海力士等在ASML中都有可观的股份 , 也可以说全球大半个半导体行业都是ASML的合作伙伴 。这也就能够解释为什么台积电能够优先购买EUV光刻机 , 而且一买就是18台 , 而我国大陆排队两年 , 还没等到最新的7nm EUV光刻机 。
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原因2:《瓦森纳协定》禁运
《瓦森纳协定》又称为瓦森纳安排机制 , 由美国、日本、英国、荷兰等40个成员国 , 限制向某些国家出口敏感产品和技术许可 , 这个“安排机制”受到了美国的控制 , 而被禁运的名单中就包括我国大陆 。如捷克拟向我国出口“无源雷达设备”时 , 就遭到了美国向捷克施压 , 被迫停止了交易 。
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根据瓦森纳的协定 , 要求满足国外和国内技术相差1.5倍 , 才可以解除禁运 。AMSL向我国开放7nm EUV光刻机时 , ASML已将在生产5nm光刻机了 , 我国的半导体制造工艺仍然落后一代以上 。
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