电子显微镜有很多种类型 ， 这里主要讲一下「隧道扫描显微镜」 。
【电子显微镜的原理是什么】名字里有“隧道”两个字 ， 但是并不是说显微镜里有类似“隧道”的结构 。“隧道” ， 指的是“隧穿”效应 。
我们知道 ， 人在面对一堵墙的时候 ， 是无法直接穿过去的 。而同理 ， 一个能量很低的物体 ， 在宏观层面来看 ， 是无法穿过很高的势能壁垒的 。但是 ， 更微观的粒子 ， 是可以通过一种叫做“隧穿”的效应 ， 直接穿过势能壁垒的 。当然 ， 并不是任何情况都可以穿过 ， 而是与势能壁垒的高度、厚度有关 。
这时 ， 这个概率就变的非常有用了 。因为 ， 隧穿概率与厚度有一个确定的关系 ， 所以 ， 只需要测量某个点的隧穿概率 ， 就可以推算出那里的厚度 。而知道了厚度 ， 就在一定程度上了解了所观测物体的结构 。
如图中所示 ， 在每个点上 ， 都在下方释放电子 ， 然后多次测量 。比如说测量了一万个电子 ， 有300个隧穿过去 ， 被探针检测到 ， 那么 ， 这里的隧穿概率就是百分之三 。进一步的 ， 我们就可以使用这个百分之三的隧穿概率 ， 来计算此处的厚度 。
通过对样品各个地方进行扫描 ， 就可以测出各处的厚度 ， 这样 ， 就可以绘制出样品的形状 。还有一个问题 ， 就是探针自己是如何这样精确的移动的？这样精确的移动 ， 肯定不是传统的机械结构 ， 而是用的是“压电陶瓷” ， 这样在电压的控制下 ， 可以让探头进行微小的移动 。
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