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压力传感器的工作原理

小知识工作压力传感器

压力传感器是工业实践中最为常用的一种传感器，其广泛应用于各种工业自控环境，涉及水利水电、铁路交通、智能建筑、生产自控、航空航天、军工、石化、油井、电力、船舶、机床、管道等众多行业，下面就简单介绍一些常用传感器原理及其应用
力学传感器的种类繁多，如电阻应变片压力传感器、半导体应变片压力传感器、压阻式压力传感器、电感式压力传感器、电容式压力传感器、谐振式压力传感器及电容式加速度传感器等 。但应用最为广泛的是压阻式压力传感器，它具有极低的价格和较高的精度以及较好的线性特性 。下面我们主要介绍这类传感器 。
压阻式压力传感器原理：
压阻式压力传感器是利用单晶硅材料的压阻效应和集成电路技术制成的传感器 。压阻式传感器常用于压力、拉力、压力差和可以转变为力的变化的其他物理量（如液位、加速度、重量、应变、流量、真空度）的测量和控制 。

压阻效应
当力作用于硅晶体时，晶体的晶格产生变形，使载流子从一个能谷向另一个能谷散射，引起载流子的迁移率发生变化，扰动了载流子纵向和横向的平均量，从而使硅的电阻率发生变化 。这种变化随晶体的取向不同而异，因此硅的压阻效应与晶体的取向有关 。硅的压阻效应不同于金属应变计，前者电阻随压力的变化主要取决于电阻率的变化，后者电阻的变化则主要取决于几何尺寸的变化（应变），而且前者的灵敏度比后者大50～100倍 。
压阻式压力传感器结构
压阻式压力传感器采用集成工艺将电阻条集成在单晶硅膜片上，制成硅压阻芯片，并将此芯片的周边固定封装于外壳之内，引出电极引线 。压阻式压力传感器又称为固态压力传感器，它不同于粘贴式应变计需通过弹性敏感元件间接感受外力，而是直接通过硅膜片感受被测压力的 。硅膜片的一面是与被测压力连通的高压腔，另一面是与大气连通的低压腔 。硅膜片一般设计成周边固支的圆形，直径与厚度比约为20～60 。在圆形硅膜片(n型)定域扩散4条p杂质电阻条，并接成全桥，其中两条位于压应力区，另两条处于拉应力区，相对于膜片中心对称 。硅柱形敏感元件也是在硅柱面某一晶面的一定方向上扩散制作电阻条，两条受拉应力的电阻条与另两条受压应力的电阻条构成全桥 。

压阻式压力传感器发展状况
1954年c.s.史密斯详细研究了硅的压阻效应，从此开始用硅制造压力传感
器 。早期的硅压力传感器是半导体应变计式的 。后来在n型硅片上定域扩散p型杂质形成电阻条，并接成电桥，制成芯片 。此芯片仍需粘贴在弹性元件上才能敏感压力的变化 。采用这种芯片作为敏感元件的传感器称为扩散型压力传感器 。这两种传感器都同样采用粘片结构，因而存在滞后和蠕变大、固有频率低、不适
于动态测量以及难于小型化和集成化、精度不高等缺点 。70年代以来制成了周边固定支撑的电阻和硅膜片的一体化硅杯式扩散型压力传感器 。它不仅克服了粘片结构的固有缺陷，而且能将电阻条、补偿电路和信号调整电路集成在一块硅片上，甚至将微型处理器与传感器集成在一起，制成智能传感器 。
这种新型传感器的优点是:
①频率响应高(例如有的产品固有频率达1.5兆赫以上)，适于动态测量;
②体积小（例如有的产品外径可达0.25毫米），适于微型化；
③精度高，可达0.1～0.01％；
④灵敏高，比金属应变计高出很多倍，有些应用场合可不加放大器；汽车维修技术网
⑤无活动部件，可靠性高，能工作于振动、冲击、腐蚀、强干扰等恶劣环境 。其缺点是温度影响较大（有时需进行温度补偿）、工艺较复杂和造价高等 。

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