如果对准偏差和图案产生误差，产品良率就会小，需要不断调整镜头曝光补偿参数和光源测量来控制，达到满意的光刻效果 。国内除了缺乏精密的镜片加工技术，在光源控制、镜片曝光参数调整等方面也缺乏相关技术 。5G时代，国内需要高端芯片，顶尖的光刻技术不可或缺 。这是必须攀登的“高峰” 。我相信中国经过艰苦的研发可以掌握先进的光刻技术和设备，生产出自己需要的各种高端芯片 。
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