直驱型真空机器人技术属于原始创新技术 。关键技术包括：(1)真空机器人新构型设计技术：通过结构分析和优化设计，避开国际专利，设计新构型满足真空机器人对刚度和伸缩比的要求；(2)大间隙真空直驱电机技术：涉及大间隙真空直接驱动电机和高洁净直驱电机开展电机理论分析、结构设计、制作工艺、电机材料表面处理、低速大转矩控制、小型多轴驱动器等方面 。
(3)真空环境下的多轴精密轴系的设计 。采用轴在轴中的设计方法，减小轴之间的不同心以及惯量不对称的问题 。(4)动态轨迹修正技术：通过传感器信息和机器人运动信息的融合，检测出晶圆与手指之间基准位置之间的偏移，通过动态修正运动轨迹，保证机器人准确地将晶圆从真空腔室中的一个工位传送到另一个工位 。
(5)符合SEMI标准的真空机器人语言：根据真空机器人搬运要求、机器人作业特点及SEMI标准，完成真空机器人专用语言 。(6)可靠性系统工程技术：在IC制造中，设备故障会带来巨大的损失 。根据半导体设备对MCBF的高要求，对各个部件的可靠性进行测试、评价和控制，提高机械手各个部件的可靠性，从而保证机械手满足IC制造的高要求 。
洁净机器人洁净机器人是一种在洁净环境中使用的工业机器人 。随着生产技术水平不断提高，其对生产环境的要求也日益苛刻，很多现代工业产品生产都要求在洁净环境进行，洁净机器人是洁净环境下生产需要的关键设备 。关键技术包括：(1)洁净润滑技术：通过采用负压抑尘结构和非挥发性润滑脂，实现对环境无颗粒污染，满足洁净要求 。
推荐阅读
- 多芯屏蔽信号线,屏蔽信号线型号规格
- 工业化,实现工业大突破
- 快手直播需要什么设备,直播带货必备设备清单
- 国产光刻机,上海微电子装备的光刻机能达到什么水平
- 红米跟小米有什么区别,小米和红米有什么区别
- 度秘,当小度超越小度
- 斐讯k2是百兆还是千兆,k2路由器是千兆的吗
- 大矿主,m.shuquge.com
- 4g手机能用5g网络吗,4G手机能用5G网络么
- 亚洲四小龙指的是什么