sciencenet.cn,刻蚀

【sciencenet.cn,刻蚀】中国中微造出3nm刻蚀机 , 与荷兰ASML光刻机还有多大差距?

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科学的东西太尖端、绕口令似的解释 , 咱也听不明白 , 打个比方跟您说吧 。光刻跟蚀刻是两种不同领域里使用的技术 , 光刻机和蚀刻机就是那不同领域里进行作业的工具 , 虽然他们进行的是同一个产品作业 , 但工序不一样 。就像做一件衣服 , 光刻是在设计样式、尺寸并绘制图形 , 蚀刻是进行分割、裁剪 。一件衣服究竟怎么样 , 不仅看设计的好不好 , 线条划没划歪;也要看分割得好不好 , 剪没剪走形 。

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