阿斯麦光刻机出货信息
截至发稿，东方晶源尚未对阿斯麦的说法做出回应 。
2021年8月，东方晶源曾在官网发布新闻称，该公司作为国内集成电路领域良率管理先锋企业，成功荣获第三批国家级专精特新“小巨人”企业称号，其三款核心产品填补了国内相关领域的空白，并且在产业化方面快速迈进，是目前国内唯一产线验证并实现订单的产品，对我国半导体设备供应链安全具有战略意义 。该公司还提到，东方晶源自成立以来坚持以创新引领发展，申报国内外发明专利145项，授权发明专利49项，软件著作权14项，注册商标15项 。
东方晶源官网截图
2021年9月，东方晶源披露，该公司完成新一轮数亿元股权融资，本轮融资由赛领资本、深创投领投，众多知名投资机构联合投资 。“此轮融资将有助于东方晶源加快在集成电路前道电子束检测、计算光刻系统等核心产品的研发进程，加速在集成电路良率管理领域的整体布局 。”
【中企称关键技术完全自研 光刻机巨头ASML称东方晶源可能侵权】图源：东方晶源官网
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