晶圆上的模具标记是什么


晶圆上的模具标记是什么


【晶圆上的模具标记是什么】单晶硅片里的磨具标识就是为了区别每个单晶硅片,运用激光器跃迁单晶硅片,在单晶硅片表面产生单晶硅片标识 。以用以在各个片晶圆之间区别,用不同的单晶硅片标记识别不同类型的单晶硅片 。标准化的单晶硅片标识,要在单晶硅片表层往下产生环形外形的凹痕,而且凹痕边缘会因为激光器能量的作用在单晶硅片表层产生奋发向上的突起 。单晶硅片标识的监管方式,主要通过扫描仪单晶硅片标识的波形图数据信号,隧道检测单晶硅片标识相匹配波型信号的功率最高值和谷值,进而监管激光能量尺寸,可是不确定单晶硅片标识的形态及其激光光路方向是不是出现异常 。

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