mems即微机电系统（英语：MicroelectromechanicalSystems，缩写为MEMS）是将微电子技术与机械工程融合到一起的一种工业技术，它的操作范围在微米范围内 。比它更小的，在纳米范围的类似的技术被称为纳机电系统 。
微机电系统（MEMS,Micro-Electro-MechanicSystem）是一种先进的制造技术平台 。它是以半导体制造技术为基础发展起来的 。MEMS技术采用了半导体技术中的光刻、腐蚀、薄膜等一系列的现有技术和材料，因此从制造技术本身来讲，MEMS中基本的制造技术是成熟的 。但MEMS更侧重于超精密机械加工，并要涉及微电子、材料、力学、化学、机械学诸多学科领域 。它的学科面也扩大到微尺度下的力、电、光、磁、声、表面等物理学的各分支 。
【mems是什么意思】
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