真空泵的分类:
按工作原理分类:
【真空泵有哪几种】1、气体输送泵 , 包括变容真空泵、动量传输泵;
2、气体捕集泵,包括吸附泵、吸气剂泵、吸气剂离子泵、低温泵 。
按真空度分类:
1、粗真空度;
2、高真空度,包括滑阀式真空泵、旋片式真空泵、罗茨真空泵;
3、超高真空度 。
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