四氟化硅是气体 。四氟化硅是一种无色、有毒、有刺激性臭味的气体，对眼、皮肤、粘膜和呼吸道有严重损害，其易潮解，在潮湿空气中可产生浓烟雾，生成硅酸和氟化氢两种物质 。
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