光刻机为什么中国做不出来 知乎 光刻机为什么中国做不出来


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中国光刻机在光刻机领域 , 荷兰ASML和日本的佳能,尼康把握了全球9成以上的光刻机市场 。似乎没有第四家光刻机厂商,能够参与中高端光刻机的竞争 。因为不具备生产中高端光刻机的实力 。
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其中ASML更是唯一能生产EUV光刻机的厂商,就因为能生产EUV光刻机,所以ASML受到全球芯片制造厂商的追捧 , 都希望能采购一台EUV光刻机 。尽管需要花费1.2亿美元才能购买一台EUV光刻机,但依旧是供不应求 。
我国芯片代工厂曾经也买了一台EUV光刻机,只不过在某些国家的阻碍下 , 迟迟没有交付 。
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实际上中国光刻机也有自己的生产厂商,比如上海微电子就是国内实力领先的光刻机设备厂商 。掌握28nm光刻机制造工艺 , 还有华卓精科提供光刻机双工件台,助力国产光刻机发展 。
可能很多人不知道的是,65年前中国就有光刻机 。在60年代 , 中国第一台65型接触式光刻机亮相,可能技术放在现在来看 , 不是最领先的 。但能够在当时生产出光刻机,已经是走在世界各国前沿了 。
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到了80年代,中国研发的光刻机技术甚至领先世界 。如果按照这种趋势 , 我们应该还是世界领先的,可为何如今不行了?
为何不行了?光刻机制程也是分为很多种的,从低到高包括了180nm、90nm、65nm、45nm、22nm、14nm、7nm等工艺 。根据光刻机种类的不同,应用领域也是不一样的 。
比如ASML生产的EUV光刻机可专门用来生产5nm手机芯片处理器,佳能的高功能光刻机是面向小型基板生产的 。能够做到28nm及以下的 , 全世界都没有几家 。到了7nm以下,就只有ASML能生产 。
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实际上我国主流的光刻机水准是在90nm,上海微电子传来的28nm浸润式光刻机,还在发货阶段,距离投入实际生产使用,还没有太大的进展 。
至少可以确定的是,和国外的ASML相比,我们还有很大的进步空间 。那么问题在于,为什么80年代是领先的,到后来却不行了?
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原因在于研发投入大,人才储备不足,没有好的生产制造环境 。再加上当时国外技术大量引起国内,所以为了方便,直接购买国外设备成为主要思想 。
在当时的时代背景下,有条件研发光刻机的企业机构非常少,人才的稀有的原因都是造成发展迟缓的原因 。

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