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ASML光刻机到了,听说这个东西很贵是吗?

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ASML2018年营收109亿欧元,净利润26亿欧元 。英特尔2018年营收708亿美元,净利润211亿美元 。2018财年,苹果营收2655.95亿美元,净利润595.31亿美元 。光刻机是迄今为止人类所能制造的最精密的设备,涉及电子,机械,光学,等等很多领域,被称为是工业的明珠 。ASML的光刻机也是很多企业合作的结果,光源是美国的,镜头是德国的,还有英国的技术,荷兰的技术,是西方百年工业的结晶,集大成者 。
需要各类基础领域扎实的人才,这也是最难的 。目前全球光刻机厂商有4家,分别是ASML、Nikon、Canon和上海微电子(SMEE) 。2017年全球光刻机总出货294台,其中ASML共就出货198台(其中EUV光刻机11台),占全球68%的市场份额 。EUV光刻机方面,ASML占有率100% 。2017年单台EUV机台平均售价超过1亿欧元,2018年一季度的售价更是接近1.2亿欧元(有价无货) 。
ASML是荷兰飞利浦旗下的公司,是世界半导体设备的龙头 。ASML(阿斯麦)在当今高端沉浸式光刻机中占据80%的份额阿斯麦的总部位于荷兰,于1984年成立,原名Advanced Semiconductor Material Lithography Holding N.V. 。公司拥有员工约16500人,其中研发人员超过6000人,研发人员占比超过36% 。
飞利浦又是台积电的股东,而且据说是最大的一个,听说占了台积电一半以上股份,还有别的一些欧美公司也占了不少,总体来说,台积电80%是外资 。1986年推出首台步进式设备PAS2500/10,并和镜头制造商Carl Zeiss建立密切合作关系;1987年,张忠谋创立了台积电,这是改变产业界的大事 。在同一年,一位不太起眼的IBM芯片Foundry工程师林本坚从显微镜镜头上的水得到灵感,提出了一种浸润式光刻机的新设想,写成论文发表出来 。
ASML成立之初也面临着技术落后和资金短缺的问题 。有消息称,1992年在遭遇半导体产业周期性衰退时,公司资金链断裂,几乎破产会闭 。幸亏股东飞利浦及时出手相救,加上公司的轻资产战略,才涉险过关 。1995年阿斯麦在NASDAQ和阿姆斯特丹交易所上市 。2001年更名为ASML 。从2004年开始立项,ASML主导,台积电提供协助,2007年,颠覆性的产品——浸润式光刻机诞生了,从此,光刻机从三足鼎立变成了一家独大 。
2007年,台积电使用ASML的浸润式光刻机成功投产45nm制程芯片 。在光学镜头与硅晶圆片导入液体作为介质,在原有光源与镜头的条件下,能显著提升蚀刻精度,成为目前高端光刻的主流技术方案,一举垄断市场 。2012年公司提出“客户联合投资专案”(Customer Co-Investment Program),获得英特尔、台积电、三星的响应,以23%的股权共筹得53亿欧元2016年11月5日收购Carl Zeiss SMT的24.9%股权,以强化双方在半导体微影技术方面的合作,发展下一代EUV微影系统 。
阿斯麦的主要业务是光刻机,在光刻机领域处于绝对领先的地位 。在45纳米以下制程的高端光刻机市场中,占据80%以上的市场份额,而在EUV光刻机领域,目前处于绝对垄断地位,市占率为100%,处于独家供货的状态 。公司的光刻设备,主要是TWINSCAN产品,按低端至高端又分为 XT、 NXT以及 NXE几个子系列 。
XT系列是成熟的机型,具有干式和浸没式两种; NXT系列全部为浸没式,是主推的高端机型,以ArF和KrF激光光源,量产加工产量每小时可达 250片,为目前行业中高端主流设备 。XT与 NXT系列使用的是深紫外光(DUV,Deep Ultra Violet),而 NXE系列使用最先进的极紫外光(EUV,Extreme Ultra Violet) 。
由于目前在 EUV领域,其他厂商仍处于研发或试用阶段,距离量产还有数年差距,NXE系列垄断 10nm以下的市场,可望帮助公司维持营收盈利的高增速 。阿斯麦的主要客户为全球一线的晶圆厂,除了英特尔、三星和台积电这三大巨头之外,国内的中芯国际也是阿斯麦的客户 。最近几年,阿斯麦的营收呈增长态势 。2012至2016年,半导体行业发展缓慢,公司的营收增速也有所放缓,增速大概在10%左右 。

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