DUV是DeepUltra Violet，即深紫外光；EUV是Extreme Ultra Violet，即极紫外光 。DUV光刻机的极限工艺节点是28nm，要想开发更先进的制程，就只能使用EUV光刻机了 。最先进的是波长13nm的极紫外光刻机（EUV） 。从2012年开始，光刻机技术没有发生革命性变化，著名的摩尔定律开始失效，半导体行业发展缓慢，2015年甚至出现了2.3%的负增长 。
半导体行业迫切需要使用EUV来提高光刻能力 。2013年阿斯麦的EUV光刻机研发成功，使用的光源是22nm；2017年更先进的EUV光刻机研成功，使用的光源是13nm，使得7nm线宽的制程可以实现 。要想开发10纳米以下的制程，EUV光刻机是必须的设备，而全球只有阿斯麦一家有EUV光刻机 。为了能够顺利买到EUV光刻机，半导体行业三大巨头英特尔、三星和台积电都已经入股了阿斯麦 。
三星计划2018年开始使用阿斯麦的EUV设备，台积电计划2019开始使用阿斯麦的EUV设备，格罗方德计划2019年使用EUV，英特尔计划2021开始使用7nm工艺 。英特尔，三星，台积电，虽然这三家不生产光刻机，但却是ASML的股东之一，以购买股票以及投资ASML科研的方式，成为ASML高端设备的优先供货对象 。
目前，阿斯麦的EUV光刻机已经开始出货，2017年预计出货12台，2018年预计出货24台，到2019年预计出货30台 。ASML研发经费倍增到现在的每年十三亿欧元的规模 。多出的一倍，ASML自己出一半，三大半导体巨头合出另一半 。能够让顾客帮你买单，制造做到最厉害就是这样了 。梁孟松的博士生导师名叫胡正明，是FinFET技术的发明人，FinFET技术是芯片制程推进到20nm以下的关键 。
订货周期21个月，有5万个零部件，关键是买回来其他配套技术要一起达标才能做出10nm 7nm的工艺 。全球最大的芯片机器制造商、荷兰的阿斯麦（AMSL）证实，中国向荷兰订购一台最新型的使用EUV（极紫外线）技术的芯片制造机器光刻机，订货单位是中国厂商 SMIC 。这台机器价值1.2亿美元，与其去年净利润1.264亿美元大致相当 。
消息来源称，这一设备预计将于2019年年初交付 。ASML EUV曝光机的出货量：2017年上半年，ASML售出 2台 EUV设备，Q3单季度倍增到 4台;预计 Q4还有 6台交付，带来 3亿欧元单季收入，计划 2018与 19年均可出售超过 20台 。我们每年要花上千亿美刀来从国外进口半导体芯片，并且最近这几年的半导体进口额已经达到了2000美元以上，近10年里花了1万多亿美元用来进口国外的芯片公司分为两类，一类是普通的公司，一类是伟大的公司 。
普通的公司被行业影响，被动适应行业的发展；伟大的公司影响行业，主动推动行业的发展 。半导体三大巨头英特尔、三星和台积电要想开发10纳米以下的半导体制程，都只能使用阿斯麦的EUV光刻机 。不管三大巨头之间怎么竞争，阿斯麦都可以稳坐钓鱼台 。从公司 2018 年的上半年的销售收入的市场分布看，中国大陆地区的总金额和占比稳步增长，显示出中国市场已经成为全球产业转移的重要方向 。
长江存储从荷兰阿斯麦（ASML）公司订购的一台光刻机已抵达武汉 。这台光刻机价值高达7200万美元，约合人民币4.6亿元2017年光学光刻工具的出货量也大幅增长 。该公司表示，光刻系统出货量比2016年增长了21％，达到了161个 。ASML预计2018年第一季度销售额约为22亿欧元（约合27亿美元） 。阿斯麦的革命性产品ASML在把控核心技术（光刻曝光技术）的同时，依靠全球产业链分工合作的方式，ASML采取模块化外包协同联合开发策略 。
该策略使ASML得以集世界光刻顶级技术之大成 。如光学镜头部件由德国Carl Zeiss生产，光源由美国的Cymer（现ASML子公司）提供，计量设备则由美国的Keysight（Agilent/Hewlett-Packard）制造，传送带则来自荷兰VDL集团 。正是有了如此多的各细分领域中的顶尖供应商的协同创新，公司可以把主要的研发力量集中在确定客户需求和系统整合上，从而迅速占领了世界光刻机的制高点 。
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