一台7nm光刻机多少钱,光刻机多少钱一台( 二 )


所以,ASML并不是荷兰的ASML,而是整个西方的ASML 。有血性的中国人听到美国的制裁,都说:我们自己造,当年“两弹一星”我们都能造出来 。虽然我也不想承认,但必须得承认:眼下我们造不出来!ASML用的镜头是德国蔡司的,打破摩尔定律的EUV光源,全球只有ASML 。所以,无论是资金还是技术上,眼下我们都无法替代ASML 。
按照我们目前国家的技术,造一台全球先进的光刻机需要多少年?

一台7nm光刻机多少钱,光刻机多少钱一台


如果说芯片是工业制造领域的一顶皇冠,那么光刻机就是皇冠上的明珠,而最先进的光刻机就是最亮最大的那一颗 。一起来看一看世界最先进的光刻机光刻机又名曝光机,是生产大规模集成电路的关键设备,将电路结构临时"复制"到涂有光刻胶硅片上的过程,制造和维护需要高度的光学和精密制造技术 。高端光刻机被称为“现代光学工业之花”,制造难度很大,全世界只有少数几家公司能制造 。
目前世界上最先进的光刻机是荷兰ASML生产的EUV光刻机,这台光刻机可以生产出最先进的5nm制程芯片 。这台光刻机仅零部件就超过了十万个,螺栓数量超过4万个,3000多条线路,内部软管加起来,就有两公里长,设备重量达到了180吨,如此庞大精密的设备安装调试就需要几个月 。设备最精密的部件就是:光源和镜头光源采用了极紫外光极紫外光系统来自于美国公司Cymer,一种波长极短的极紫外光,该技术是使用激光产生等离子源产生13nm的紫外波长 。
这种光源工作在真空环境下,产生紫外波长,然后由光学聚焦形成光束,光束经由用于扫描图形的反射掩膜版反射,由于极紫外光的固有特性,产生极紫外光的方式十分低效,能源转换效率只有 0.02% 左右 。镜头采用了德国蔡司镜头高精度镜头采用蔡司技术,蔡司是德国历史悠久的光学仪器厂商,其产品向来是“高贵”的代名词 。同样的一个镜片,不同工人打磨,光洁度相差十倍 。
镜片材质均匀,更需要几十年甚至上百年的技术沉淀,EUV光刻机采用的镜头要求:制作一个地球面积大小的镜头,误差在一根头发大小 。除了光源和镜头外,工作环境也很重要精密工作台,工作台要求:绝对稳定的工作环境,芯片的曝光必须在真空中,并且采取恒温技术,工作室的空气要比外界干净1万倍,工作台高速运动期间,系统不能振动 。
而光刻机要多的事情,就好比在真空、恒温、无尘、高速运动的环境中,在一粒米上雕刻清明上河图,机械动作误差为皮秒(百万分之一秒),这些基本都是挑战人类极限的工作 。这就是世界上最先进的光刻机,价格约为1.6亿欧元每台,折合人民币约12.5亿元,关键是有钱还不一定能够买到 。再来看看国产光刻机的水平目前最高端的国产光刻机是上海微电子公司制造的,工艺制程为90nm,在国内市场份额超过80%,并且也销往国外 。
上海微电子装备有限公司坐落于张江高科技园区内,邻近国家集成电路产业基地、国家半导体照明产业基地和国家863信息安全成果产业化(东部)基地等多个国家级基地 。公司成立于2002年,主要致力于大规模工业生产的投影光刻机研发、生产、销售与服务,公司产品可广泛应用于IC制造与先进封装、MEMS、TSV/3D、TFT-OLED等制造领域 。
海微电子的主要产品包括:600扫描光刻机系列—前道IC制造、500步进光刻机系列—后道IC、MEMS制造、200光刻机系列—AM-OLED显示屏制造、硅片边缘曝光机系列——芯片级封装工艺应用、精密温控系列—光刻机、刻蚀机应用、精密温度控制解决方案 。上海微电子制造的光刻机和荷兰ASML的EUV光刻机相比,却处于低端序列,根本无法制造手机芯片,这也是华为麒麟芯片被“卡脖子”的一大原因 。

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