为什么不能建立国家实验室 ， 由国家出钱研发光刻机 ， 卡在哪里？
中国自解放后不就一直是这个“国家实验室/研究所”主导几乎所有科研项目吗？所以 ， 你问的这件事 ， 真不是个问题 。实际上在中华人民共和国成立的那一天开始 ， 我们就是用你问的这种模式在做科研工作！这是计划经济的特点 ， 科研工作也要由国家计划分配来做！至此 ， 就剩下第二个问题了 ， 那就是“卡在哪里”是问题了！前面那半截的提问根本不是问题 ， 我国一直是这种“国家试验室/研究所”模式地在进行着研究 ， 从来就没有走歪过一步 。
至于现在国产光刻机的研究“卡在哪里”这个问题 ， 总体上来说就是卡在了“实用化”阶段 。首先 ， 到目前为止 ， 中国对DUV和EUV光刻机的原理是完全掌握了 ， 而且这个掌握绝对是全世界第一流的 ， 与美国并驾齐驱的水平 ， 甚至更精深一层也有可能 。在任何光刻机的理论研究大会上 ， 来自中国的科学家 ， 绝对能够拿出最漂亮的PPT ， 把最前沿的光刻机原理讲得头头是道！其次 ， 到目前为止 ， 中国对理论的验证工作也基本上完全完成了 ， 比如什么“双工作台”、“光源”等等 ， 各个环节的“道路验证”类的工作也全都圆满完成 ， 也就是说从“理论”到“实用”之间已经没有障碍物 ， 所有的“道路”都已经亲身趟过一遍了 ， 其中的地雷都已经排除！这个到任何光刻机的研发大会上 ， 来自中国的科学家 ， 也是能够拿出绝对漂亮的PPT ， 讲出最精彩的报告！至此 ， 就是“实用化”阶段的工作了 。
这就好比火箭上天的原理和“窜天猴”上天的原理一样 ， 但火箭是由国家航天某厂制造 ， “窜天猴”是由浏阳某鞭炮厂制造 ， 但肯定都不是国家的试验室制造 。在光刻机上也是如此 ， “国家的试验室/研究所”已经把理论方面的工作做完了 ， 接下来“实用化”的工作该谁来做？但最大的问题是 ， 按照最朴素的“谁投钱谁挣钱”的说法 ， “试验室/研究所”是用公共资源来进行研发 ， 也就是说 ， 它们的研究资金来源是国家无偿提供 ， 那么产出的成果原则上也是无偿归国家所有！但所有人都知道 ， 科研研究与产品研究最大的区别就是 ， 科研研究是不考虑“性价比”的 ， 哪怕是最后研究失败 ， 那么这个失败的经验也能算是成果的一种 ， 算是验证了错误的道路 。
但在产品的研发阶段 ， 就要必须考虑“性价比”了 ， 如果投资巨大 ， 但研究不出来怎么办？所以 ， 现在就是卡壳在了产品级的“实用化”研究阶段了！更深一步 ， 实际上就是卡壳在了如何处理实用化阶段的“性价比”问题上 。这个问题如果没有办法拿出好的解决方案 ， 大概没有几个“试验室/研究所”敢向前迈进了 。毕竟花钱没出成果怎么个说法没有 ， 谁敢“豁出去”？ 。
华为和国内顶尖企业合作 ， 用ASML模式研发光刻机需要几年？
难度非常大 ， 研发至少在3年以上 。我去年10月在我们学校的秋季招聘会上跟ASML美国研发工程师有过面对面交流 ， 这里简单地和大家分享一些技术细节 。挑战一：超大功率二氧化碳脉冲激光器模组ASML设备中需用20千瓦以上的激光脉冲 ， 聚焦并轰击液态锡滴 ， 产生EUV射线 。开发这种模组需要非常专业的计算机建模软件进行光路设计 。
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