什么是MEMS传感器？
什么是MEMS传感器？在微电子技术高速发展的浪潮中，MENS传感器的应用也广泛起来 。例如气体成分检测、3D定位技术、特殊环境的参数监测等应用 。MEMS是微型电子机械系统，MEMS传感器采用微机械加工技术制造的新型传感器，属于MEMS器件的重要分支 。依赖MEMS技术传感器的技术特点1、微型化，其芯片尺寸基本为纳米与微米级别 。
2、多样化，主要在其工艺、应用领域及材料方面多样化 。3、集成化，在功能、敏感方向不同的多个传感器集成形成阵列与系统 。4、批量化，适合大批量生产，成本不高 。5、尺寸相应现象，由于尺寸缩小也会有些影响，如尺寸效应、微摩擦学、微构造学、微热力学等 。一些典型的MEMS传感器1、MEMS压力传感器 。其发展迅速，应用广泛 。
【MEMS压力传感器走上穷途末路,mems压力传感器】基本上它的敏感元件为硅膜片，根据机理不同可将MEMS压力传感器分为三种形式，分别是压阻式压力传感器、电容式压力传感器、谐振式压力传感器 。2、MEMS加速度传感器 。根据原理可分压阻式、压电式、电容式、热电偶式、光波导式等MEMS加速度传感器，可应用最为广泛的还属于电容式加速度传感器 。3、MEMS陀螺仪 。
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