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近几年 , 我国在半导体产业上发展迅猛 , 各项核心技术实现突破 。 以中芯国际为例 , 在CEO梁孟松的带领下 , 中芯国际已经实现28nm芯片的量产 , 并实现了7nm芯片技术的突破 。
而在芯片封装技术 , 长电科技也实现了4nm芯片封装 。 与此同时 , 概伦电子也在芯片设计上实现3nm工艺节点的突破……
不可否认 , 这几年我们在芯片技术的突破有目共睹 , 但我们能够生产的芯片仅有14nm水准 , 离7nm芯片还有不小的距离 。
据悉 , 国内能自主生产的先进工艺是14nm水准 , 比如中芯国际此前生产麒麟710a芯片就是14nm芯片 。
为什么会出现这种情况呢?归根结底 , 还是国缺少生产芯片的关键设备光刻机 。 截止目前为止 , 我国从ASML采购了大量DUV光刻机 , 但EUV光刻机 , ASML并没有向我国提供 。
而EUV光刻机是生产7nm芯片的关键设备 , 一旦我们拥有这种光刻机 , 那么我国实现7nm芯片生产的进程将会加快 。
哈工大7nm光刻机技术实现突破
早在18年的时候 , 中芯国际就从ASML采购了一台EUV光刻机 。 由于老美从中作梗 , 这台EUV光刻机没有正式发货 。
为了早日实现国产7nmEUV光刻机的自主化 , 国内半导体公司和相关团队在光刻机技术上深入研究 , 实现了光刻机技术的多项突破 。
最引人瞩目的当属哈工大团队研发的‘高速超精密激光干涉仪’ , 这款激光干涉仪用于28nm—350nm工艺光刻机集成研制和性能测试 , 对28nm光刻机的研制提供了技术支撑 , 并对7nmEUV光刻机提供技术储备 。
这个消息传来后 , 整个网络都沸腾了 , 很多人都高呼:我们实现了7nm光刻机技术都突破 , 国产7nmEUV光刻机将会研制成功 。
1个多月过去了 , 我们并没有看到国产7nm光刻机的相关信息 , 似乎哈工大的7nm技术突破只是一个噱头 , 这种现象让人感到奇怪 。
为什么会出现这种现象?
难道哈工大7nm光刻机技术只是一个噱头 , 准确的讲并不是 。 哈工大团队是这样形容高速超精密激光干涉仪:能为28nm—350nm光刻机提供技术支撑 , 为7nm光刻机提供技术储备 。
【哈工大7nm技术实现突破后,一个奇怪的现象出现了】什么叫技术支撑呢?那就是我国研制28nm光刻机的时候 , 高速超精密激光干涉仪能为这种光刻机提供集成和测试的技术支撑 , 仅此而已 。 但一款28nm光刻机的研制涉及的技术多达几千、甚至上万个 , 靠1、2项技术支撑并不能解决问题 , 因此高速超精密激光干涉仪的出现并不能表明我们有实力研发28nm光刻机 。
实际情况是我国能够生产的光刻机水准是90nm , 离28nm光刻机还有不小的差距 。
什么叫技术储备呢?和技术支撑相比 , 技术储备就显得有些‘不给力’了 。 所谓技术储备是这种技术还不能马上看到效果 , 而是这种技术能为更高端技术做铺垫 , 在这个基础上实现技术突破 。
所以哈工大团队研发的高速超精密激光干涉仪能为28nm光刻机提供技术支撑 , 却只能为7nm光刻机做技术储备 , 这就容易理解了 。
7nmEUV光刻机有多难?
很多人认为靠我们自己就可以实现7nmEUV光刻机的研制成功 , 其实这是一种不切实际的想法 。
客观的讲 , 这个世界没有单独一个国家可以实现7nmEUV光刻机的研制成功 , 我国做不到 , 老美也是如此 。 光刻机被誉为‘半导体工业皇冠的明珠’ , 这不是说着玩的 。
据悉 , 荷兰ASML生产一台EUV光刻机 , 这需要全球6000多家科技公司提供10万个器件 , 这些公司包括蔡司、德州仪器、尼康等 , 并且这里面的任何一家公司提供了器件工艺都达到业内顶尖水准 。
由此可见 , 想要研制一款7nmEUV光刻机的难度非常之大 , 这需求全球科技公司通力合作才能完成 。
近几年 , 我国的半导体公司受到老美等国家的打压 , 包括华为、中芯国际在内的半导体公司的业务都受到较大的影响 。
面对这个局面 , 国内很多网友都希望国产光刻机能够早日实现自主生产 , 并希望我们可以研制成功7nmEUV光刻机 。
这些网友的想法是好的 , 但所有的盼望都建立在实事求是的基础上 , 因此我们不能因为1、2项技术的突破就沾沾自喜 , 认为我们就可以研制成功7nmEUV光刻机 。
国产光刻机之路任重道远 , 我们不能看不清现实 , 要脚踏实地的发展 。
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