注意使用挥发性液体蒸发蒸汽时, 不能让蒸汽进入MFC中结露, 冷凝会影响MFC的正常工作 。为了防止冷凝, 可用于管道和MFC适当加热, 但MFC一般情况下 , 工作环境温度不得超过50℃ 。如果用户想要MFC的工作环境温度超过65℃以上, 需要专门购买高温MFC产品 。
10. 流量控制器可以用来控制腐蚀性气体和特殊气体吗? 如何选择密封材料?
流量控制器可用于控制各种气体, 包括腐蚀性气体和特殊气体, 但是要小心, 对于腐蚀性气体和特殊气体, 需要选择合适的型号和密封材料 。订购时, 需要向供应商特别声明使用气体, 因为错误的选择或密封材料, 造成严重损失 。
通常 , 接触工作气体的气体质量流量控制器的湿材料是316L不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料等, 密封材料分为金属密封和橡胶密封两大类 。金属密封材料一般是不锈钢、或者抗腐蚀材料 , 例如金和镍 。金属密封的MFC原则上 , 它可以用于任何气体, 包括各种腐蚀性气体和特种气体 。对于三溴化硼、三氯化硼、氟化氢和其他腐蚀性气体MOCVD使用的金属氧化物气体建议最好金属密封的MFC 。
因为金属密封MFC价格更高, 通常要求不高的场合, 由橡胶密封MFC 。如果没有特别说明, MFC用氟橡胶密封, 可用于大多数酸性和碱性腐蚀性气体, 例如 , 它可用于卤素干燥气体 , 如氯化氢 。其他特殊腐蚀性气体, 需要特殊的橡胶 。氨气——需要耐氨橡胶, 例如乙烯-丙烯橡胶、氯丁橡胶或丁晴橡胶; 有机溶剂蒸汽环境(丙酮、甲苯等)——需要硅橡胶; 三溴化硼、三氯化硼、异氟化氢——需要全氟橡胶 。
11. 在选择和订购产品时需要注意什么?
这关系到用户的切身利益 , 也涉及到很多问题 , 所以 , 我们尽量吉祥﹑客观的回答 。
(1) 注意选择合适的品牌
一般应当全面衡量生产厂家的产品质量﹑零售价﹑售后﹑工程水平﹑产品特性﹑生产能力﹑企业信誉等因素 。
(2) 注意选择正确的范围
A. 把你需要的流量转换成标准状态下的流量(质量流量) 。
B. 根据制造商提供的质量流量换算系数表 , 将您使用的气体的质量流量值转换为氮气(校准气体)等效质量流量值 。如果你想根据你实际使用的气体进行校准 , 请向制造商解释 。关于质量流量换算系数的问题 , 下面有进一步的回答 。
C. 确定所需的标准范围 。制造商通常有自己的各种规格的标准量程 , 您实际使用的最大流量应该低于某个标准范围值 。标准范围的选择应避免过大或过小 。流量的误差指数由满量程值的百分比指定 , 如果实际流速很小而范围值太大 , 测量值的相对误差较大 。
(3) 注意正确的工作压力指数
不同产品的工作压力指数可能不同 , 注意选择适合自己的产品 。
质量流量控制器(MFC)除了最大工作压力之外 , 工作压力还有另一个指标:工作压差 , 即MFC进气口和出气口之间的压差 , 注意选择 , 用的时候要注意 。
(4) 注意选择合适的精度指标
准确度﹑线性﹑重复精度是一个重要的指标 , 其中 , 重复精度在很多应用中尤为重要 。指标不一定是最高的 , 考虑自己的实际需求 。
如果你对制造商给出的指标不放心 , 有条件的用户也可以自行校准 。校准方法参见以下相关内容 。
(5) 注意选择合适的响应时间指标
有些应用系统是对的MFC的响应时间有很高的要求 , 用户要根据自己的情况来考虑 。当考虑响应时间指数时 , 还应注意其响应过程和动态特性 。
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