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sccm和ml/min sccm和ml/min的关系( 二 )

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(1) 流量测量和控制不会因为温度或压力的波动而不准确 。
对于大多数流量测量和控制系统 ， 难以避免系统的压力波动和环境、介质的温度变化 。对于普通的流量计 ， 而压力和温度的波动会导致较大的误差；对于质量流量计 / 质量流量控制器 ， 一般可以忽略 。
(2) 测量自动化
质量流量计 / 流量控制器可以将流量测量值作为标准电信号输出 。这就很容易实现交通的数字化显示﹑累积流量的自动计量﹑自动数据记录﹑计算机管理等 。对于质量流量控制器 ， 还可以实现流量的自动控制 。通常, 模拟的MFC/MFM输入信号是0~+5V或4~20mA, 数字式MFC/MFM还配有RS232或RS485数字串行通信端口, 和电脑连接很方便, 进行自动控制 。
(3) 精确定量地控制流量
质量流量控制器可以精确地控制给定的气体量 ， 这对于许多过程的流量控制非常重要﹑这对于不同气体的比例控制特别有用 。
(4) 应用范围广
工作压力范围很宽 ， 我们的产品范围从真空到10MPa; 它可以应用于各种气体介质（包括一些腐蚀性气体 ， 如HCL）；流量范围很宽 ， 我们产品的最小流量范围可以达到0～5 sccm ， 最大流量范围可以达到0～200 slm 。流量显示的分辨率可以达到满刻度0.1%, 流量控制范围是满量程的2~100% (范围比率-- 50:1), 因此它被广泛应用于许多领域 。
6. 质量流量计的缺点是什么? 使带质量流量控制器最害怕什么?
与廉价的转子流量计相比, 质量流量计的主要缺点是价格昂贵 。
使带质量流量控制器有四怕:
对灰尘的第一恐惧, 如果灰尘进入流量计 ， 会堵塞传感器和分流器, 导致测量误差, 要求在进气口前安装一个过滤器;
二是怕液体和油进入MFC, 会造成失控, 如果MFC出口连接有液体罐, 需要在MFC添加出口止回阀, 防止液体回流;
第三 ， 害怕使用潮湿的腐蚀性气体, 潮湿的腐蚀性气体会使不锈钢生锈, 造成MFC通道损坏, 因此 ， 要求在使用腐蚀性气体之前, 到气体和MFC管道是干的;
第四 ， 使用中怕强腐蚀性、易燃易爆、等待有毒有害气体时 ， 不要按照安全规则操作, 可能造成产品损坏和其他更严重的损失 。正确使用, 安全操作, 对每个用户来说都是最重要的 。
7. 质量流量控制器操作压差范围是什么概念?
质量流量控制器(MFC)中有一个气体流量调节阀, 该阀门可以将通过控制器的流量从零调节到测量的满量程, 在工作过程中, 控制器的入口和出口之间会产生空气压降, 即压差 。MFC操作压差范围通常为0.1~0.3MPa, 如果压力差低于最小值(0.1 MPa), 控制可能无法达到满量程值; 如果它高于最高值(0.3MPa), 当有可能关闭时 ， 流量不应小于2%F.S 。用户使用MFC时, 无论用户工作的反应室是真空还是高压, 一定要让MFC气体入口端和出口端之间的压差应保持在要求的压差范围内, 而且气压要相对稳定 。
8. 高压下如何使用流量控制器?
质量流量控制器操作压差范围通常很小, 高压下正常使用要特别注意三点: 第一, 需要选择满足要求的耐压MFC; 第二, 需要选择工作压差范围大的产品型号; 第三, 要在MFC在气体前增加减压阀, 稳定的进气压力, 在MFC下游背压阀, 稳定反应室 ， 并MFC出口处的气压, 适当调整减压阀和背压阀, 要保证MFC工作压差不会超过规定范围 。只要做到以上三点, MFC就能够在高压条件下稳定工作 。
9. 使用挥发性液体蒸发蒸汽, 气压很低, 如何定制质量流量控制器的低压降产品?
部分用户使用挥发性液体蒸发蒸汽做气源(例如丙酮), 气压很低, 用普通MFC, 无法正常工作 。这时 ， 用户需要向供应商特别说明, 低压降的定制质量流量控制器 。通常 ， 可以定制工作压差低于0.01MPa的MFC, 这时MFC操作压差范围, 也会变小 。

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