1.什么是质量流量计？什么是质量流量控制器？质量流量计 ， 即MassFlowMeter（缩写为MFM）,它是一种精确测量气体流量的仪器 ， 测量值不会因为温度或压力的波动而不准确 ， 不需要温度和压力补
1. 什么是质量流量计？什么是质量流量控制器？
质量流量计 ， 即Mass Flow Meter（缩写为MFM）, 它是一种精确测量气体流量的仪器 ， 测量值不会因为温度或压力的波动而不准确 ， 不需要温度和压力补偿 。
质量流量控制器, 即Mass Flow Controller（缩写为MFC）, 不仅具有质量流量计的功能 ， 更重要的是 ， 它可以自动控制气体流量 ， 即用户可以根据自己的需求设置流量 ， MFC自动保持流量恒定在设定值 ， 即使系统压力波动或环境温度变化 ， 并且不会偏离设定值 。简短地说,流量控制器是一个流量稳定装置, 它是一种气体流量稳定装置 ， 可手动设定或连接电脑自动控制 。
2. 流量控制器的原理是什么？
流量控制器包括一个流量传感器、通道分流、流量调节阀和放大控制器等 。气体流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(不需要温度和压力补偿) 。传感器加热电桥测得的流量信号被送到放大器进行放大, 将放大的流量检测电压与设定电压进行比较, 然后放大差值信号来控制调节阀 ， 通过通道的闭环流量被控制为等于设定流量 。确定主通道的流量 。与质量流量控制器配套的流量指示器配有稳压电源,数字电压表, 设定电位计, 外设、内置开关和三位阀控开关等 。
3. 如何理解质量流量计/质量流量控制器的流量单元？
气体质量流量的单位通常如下sccm（Standard Cubic Centimeter per Minute,标准毫升每分钟）和slm（Standard Liter per Minute,标准升每分钟）来表示 。这意味着 ， 在不同的使用条件下 ， 这种仪器 ， 指示的流都是处于标准状态的流 。标准状态指定如下: 气压—101325Pa (760mm Hg); 温度—0℃ (273.15K) 。这是该仪表与其他流量计的一个重要区别 ， 也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之处 。
对于大多数用户来说 ， 流量的表达方式符合习惯﹑使用方便 ， 但是 ， 有些用户需要知道单位时间内媒体流动的质量（如g/min）,这个要求很容易实现 。因为标准状态下的气体密度是常数, 很容易找到 ， 所以简单做个乘法（将密度乘以几slm）是可以实现的 。所以说,标准状态下的体积流量相当于质量流量 。
应该注意的是, 被世界各地的质量流量控制器制造商普遍采用sccm/slm这个质量流量单位, 不符合国内测量标准的常见国际质量流量单位（Kg/min）, 但符合国际半导体协会制定的规定SEMI国际标准 。
4. 质量流量计应该在什么情况下使用, 在什么情况下应该使带质量流量控制器 ?
一般而言 ， 当只测量或监控流量时 ， 带质量流量计；当需要流量控制时 ， 带质量流量控制器 。一些测量场合 ， 两个都可以用 ， 例如毛细流动能力的测量,当在恒定压力下测量流量时, 带质量流量计; 在恒定电流下测量压力时, 需要带质量流量控制器 。注意, 当质量流量控制器处于清洁状态时, 它也可以用作质量流量计, 但压降比普通质量流量计大 。
5. 质量流量计 / 流量控制器的主要优点是什么？
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