西方禁售中国EUV光刻机?清华大学换道超车直接研发光刻工厂!( 二 )


西方禁售中国EUV光刻机?清华大学换道超车直接研发光刻工厂!


清华大学SSMB同步辐射光源是一个大型的科学装置,其原理是利用一台周长100-150米的环形加速器加速电子,产生EUV光源,再通过激光约束产生的EUV光,让其成为波长稳定的高品质EUV光源 。这样的EUV光源功率比起Cymer公司激光等离子体(LPP)技术 , 高了40倍,也就是说这样一个光源,就能提供数十台EUV光刻机工作需要 。这样只要围绕在这个光源上安装光刻机,就能完美解决EUV光刻机被卡脖子的问题 。
举个简单的例子 , ASML公司的光源好比一个烧水壶,这个烧水壶能精确控制要烧的水到80度的温度,而清华大学SSMB光源则好比我们烧一个锅炉的水,然后让热水流入一个100米的管道,管道中就能流出100度到0度所有温度的水 , 你需要多少度的水,自己在这个管道中安个龙头就能获得了 。所以理论上SSMB除了产生EUV光,其他波长更短的光源也都能获得 。
唯一的问题只是在于,采用SSMB光源技术很难做到小型化 。因此,所有光刻机必须依附在这个光源系统上 , 也就是从光刻机变成了光刻工厂 。而且其能耗比起使用ASML的激光等离子体(LPP)技术更大 。但是中国生产的EUV光刻机仅仅是需要解决美欧卡脖子的问题,又不是要对外出售,体积大并不是问题,我们只要能稳定生产出最终的3纳米、2纳米芯片就可以了 。而电费高点 , 对中国也不是事,毕竟中国的发电量占全球的30%,几座光刻工厂所消耗的电费对中国来说完全不是问题 。
因此,当清华大学将这项技术发表在《NATURE》正刊之后 , 欧美国家立马破防了 。他们怎么也没想到,中国居然不按套路出牌,并没在ASML现有技术方向追赶 , 而是直接换道超车,用他们没有意料的方式轻易解决了EUV光源难题 。ASML公司总经理温克宁近日在接受电视采访时称“中国有14亿人,而且聪明的人很多 , 他们能想到我们未想到的解决方案,我们对他们光刻机的封锁是在迫使他们提升创新能力,我们之前太自以为是了!”
西方禁售中国EUV光刻机?清华大学换道超车直接研发光刻工厂!


【西方禁售中国EUV光刻机?清华大学换道超车直接研发光刻工厂!】由此,我们可以看出以目前中国的科技实力,美欧国家妄图通过技术封锁而控制中国科技进步的举动 , 都将是徒劳 。很快美欧国家的“工业皇冠上的明珠”都会被中国摘下!

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