作为世界第二大经济体,同时也是第5个拥有核武器的国家 。我国现阶段最大的遗憾 , 可能就是不能制造的国产EUV光刻机了 。
有些人会拿原子弹来和光刻机比 , 纳闷为什么当年一穷二白都能造出原子弹,如今却造不出光刻机?
首先,目前不光中国 , 所有拥核国家都没有制造出最先进的EUV光刻机,在这方面还不如没有原子弹的日本与荷兰 。
其次,拿做原子弹来跟做光刻机比,相当于列了一项不等式 。
原子弹和光刻机 , 是一项不等式众所周知,我国当初研制原子弹时,可谓是内外交困 。一穷二白的新中国,靠着“勒紧裤腰带”和钱学森等一众科研人才 , 仅用算盘就做出了原子弹 。
然而和庞大的计算量相比,制作表面极为光滑的铀球,更是难如登天 。作为原子弹的“心脏”,铀球的尺寸和规格,都必须足够精密 , 稍有差池,原子弹就不会爆炸 。
当时我国工业相对落后,没有自动化设备,都是老师傅在车床边一点点打磨出来的 。
正因如此,有人会拿这点来对比,认为研制光刻机也是“细活”,为什么现在中国工业取得飞速发展后,仍做不出来一台光刻机?
铀球
其实我国早在1977年,就研制出了一台GK-3型半自动光刻机 。3年后,清华大学还将精度提高到了3微米,当时ASML公司甚至都还没有成立 。
除了国内面对的一些问题外 , 最主要的有两个层面的原因 。一、光刻机技术的日新月异;二、以美国为首的封锁网 。
光刻机技术的跑道,就像一根牛角,光刻机技术的极限就是物理学的极限 。因此,随着技术发展,研发门槛也越来越高 。
作为核心技术 , 光刻机的升级离不开光源的进步 。如今ASML公司垄断的EUV技术,说白了就是极紫外线 。而在此之前,全球的光刻机用的都是DUV , 也就是深紫外线 。
深紫外线要想变成极紫外线,就需要多次击打液态的金属锡,将其转化成等离子态,激发波长更短的极紫外线 。
最难的是,这些液态金属锡是滴下来的 , 而且大小只有将近20微米 。要想让深紫外线精准打在上面,对设备的精密度有着极高要求,远比铀球要难得多 。
对于原子弹来说,铀球是“心脏”,而对于EUV光刻机来说 , 工作台就是“心脏” 。工作台的精度,决定了加工芯片的精度 。
ASML公司的EUV光刻机,用的是目前最先进的双工作台,一个工作台进行对焦等准备工作,另一个工作台直接进行扫描曝光 。
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