中国刻蚀机成功追超世界顶尖水平,而光刻机依旧被美国卡住了脖子,这种悲剧更深刻地揭示出中国面临的、不公正的、光刻机之痛 。什么样的痛苦?那就是在某些时刻、在某些领域,中国必须依靠自己的力量、依靠14亿人的拼搏,追逐、赶上其他60亿人的工作 。为什么这么说?这就要从刻蚀机与光刻机的异同说起 。很多人都以为刻蚀机的技术要比光刻机简单,但其实并不是这么一回事:光刻机和刻蚀机在技术难度上处于同一水平,只是在技术种类的多与少上有很大的差异,光刻机所需的技术种类要比刻蚀机更多 。
光刻机需要什么?它需要工作台、光矫正器、形状设计装置、能量控制装置、能量探测装置,nm级的掩膜设备,高精尖的复杂物镜等多个顶尖的技术设备,涉及到的顶级技术非常多,目前没有任何一个国家可以单独拿出所有的技术 。注意,不只是中国,没有国家在以上所有的光刻机技术领域都处于顶级水平,大家都只是拥有其中的一部分,最后通过不同企业的合作来生产顶级光刻机 。
【北京智芯微 怎么,与北京智芯微达成战略合作】相比之下,刻蚀机主要依靠基于感应耦合的等离子体刻蚀技术,主要的技术是高精尖的控制系统、各种射频单元、顶级的光谱测量技术、阻抗监控以及探测技术、压力控制以及质量控制器,它所需的顶级技术在数量上相对较少 。因此,中国在经过努力之后,成功追赶上了世界顶级的水平 。刻蚀机和光刻机的对比清楚地告诉我们:不是中国人不努力,不是中国人不聪明,而是中国人需要做的事情太多了 。
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