有些真空工艺会产生大量的灰尘，如果灰尘随被抽气体进入油封真空泵内混在泵油中，会像研磨剂一样加速泵腔内零件的磨损，对泵转子和泵腔造成磨损和破坏，堵塞油路或使泵无法运行，如果灰尘进入真空阀门则会使密封失效而泄漏，因此尘埃的防止和过滤己成为延长真空系统的使用寿命，提高生产率的关键问题，在有尘埃的真空系统中，必须采用尘埃过滤器 。
真空过滤装置在灰尘量较少时，可以由泵油过滤系统滤除，但灰尘量较大时，为防止真空泵的损坏，保证真空泵的正常运转必须使用除尘器 。如图33所示，常用尘埃过滤方式有以下几种：
（1）旋风离心式（见图33a） 。进气口与筒体成偏心放置，尘埃随气流旋转，因离心力作用而沉降在过滤器的底部 。
（2）油淋式（见图33b） 。在油泵的作用下，使真空泵油从除尘器的顶部高速喷下，油雾与上升的气流相互作用吸附，混在气流中的尘埃与油一起沉降至油池 。
【常用的真空系统除尘过滤方式及过滤装置】（3）油湿介质粘附式（见图33c） 。尘埃在气流作用下撞击用真空泵油浸湿的介质表面而被粘附，常用介质有环状或颗粒状陶瓷、金属丝条等 。
（4）介质阻挡式（图33d） 。利用介质的机械阻挡作用过滤尘埃，常用介质有金属丝网、天然或合成纤维、多孔金属、多孔塑料等 。
（5）静电吸附式（见图33e） 。利用真空中气辉光放电形成等离子体，尘埃在等离子体中附着电荷，在电场力作用下被驱向电极表面而被捕集 。
（6）混合式 。将以上几种过滤形式进行组合形成混合的过滤形式 。
总之，过滤器的型式和结构尺寸的选择主要根据以下因素考虑：所要求过滤的最大尘埃直径、过滤效率、容尘量、通导能力、工作真空度、操作装拆清洗方便等 。
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