1、气垫运输,光刻机运输中需要保证全程加气垫,避免因为震动而使内部遭到破坏 。
【光刻机是怎么运输的】2、真空木箱打包,因为光刻机运输要保持全程恒温恒压,所以要使用真空木箱打包技术 。
3、恒温气垫车运输,光刻机运输过程中,温度要保持在26度,湿度要保持在40度,因此要用特种运输车辆来运输 。
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