【什么是光刻机 什么是光刻机?它用来做什么?】
光刻机又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等 。
常用的光刻机是掩膜对准光刻 ， 所以叫MaskAlignmentSystem 。
一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序 。
Photolithography（光刻）意思是用光来制作一个图形（工艺）；在硅片表面匀胶 ， 然后将掩模版上的图形转移光刻胶上的过程将器件或电路结构临时“复制”到硅片上的过程 。
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