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光刻机是生产芯片的核心设备 ， 也是半导体行业技术含量最高的设备 。 很可惜 ， 由于我国半导体设备发展进程较晚 ， 因此我国的光刻机技术比较落后 ， 很多光刻机都需要从国外进口 。
而美日荷是全球最大半导体设备出口大国 ， 为此 ， 美方拉着日荷组成三方联盟 ， 对半导体设备进行管制 ， 限制我国获得先进的光刻机设备 。 不过最近我国半导体设备发展迅猛 ，， 基本上打破了三方联盟的垄断 。 对此 ， 有外媒表示:光刻机限制尘埃落定了 。
几年前 ， 为了限制我国获得先进的EUV设备 ， 美方对荷兰施压 ， 限制ASML向中企出售EUV光刻机 。 为此 ， ASML违背和中芯国际的协定 ， 停止了EUV光刻机的出售 。
【外媒: 光刻机限制尘埃落定了】而在2022年的时候 ， 美日荷正式组成了三方联盟 ， 对半导体设备进行出口管制 。 日方在2023年7月份制定半导体设备出口管制 ， 把半导体设备的出口范围限制在45nm以下 。
同年9月 ， 荷方也制定了半导体设备出口管制 ， 对2000i型及2000i型以后的浸润式DUV光刻系统进行出口限制 。 而到了2024年9月份 ， 荷方再次升级了出口限制范围 ， 把1970i型和1980i型两款老旧光刻机纳入出口管制目录 。
可以说美日荷三方已经垄断了我国获得先进的EUV光刻设备和比较先进的DUV浸润式光刻设备渠道 ， 这对于我国半导体产业发展极为不利 。
而在最近 ， 我国光刻机行业接连传来好消息 。 据ASML公布最新财报显示 ， 2024年第二财季 ， ASML一共卖出了47.61亿欧元 ， 这里面的销售额有49%来自于我国市场 ， 合计185亿元 ， 是ASML光刻机最大的客户 。
实际上在2024年第一财季 ， 我国市场也是ASML光刻机最大的营收来源地 ， 为ASML带来49%的营收 ， 合计154亿元 。
换言之2024年上半年 ， 我国从ASML那里采购了接近339亿元的光刻机 ， 是采购ASML光刻机最大的市场 。
看到这里 ， 想必大家也明白了ASML对待光刻机出口管制的态度了 。 那就是ASML并不愿意执行光刻机出口管制 ， 而是更注重企业订单 。 为此 ， ASML多次向美方、荷方申请出口许可 。 这才能正式向中企出售光刻设备 。
除此之外 ， 工信部在9月初也公布了两款光刻设备 。 其中又一款氟化氩光刻机 ， 这款光刻机的分辨率为65nm ， 照明波长达到193nm ， 套刻≤8nm ， 是一款理论上可以生产8nm芯片的光刻机 。
当然了 ， 如果按照套刻比例1:3计算 ， 这款光刻机能生产28nm芯片就非常不错 ， 毕竟套刻≤8nm ， 距离生产8nm芯片有相当大一段距离 。
客观的讲 ， 咱们的这款65nm氟化氩光刻机和ASML光刻机还有很大的差距 ， 哪怕是ASML十几年前的1970i型光刻机也比这款65nm氟化氩光刻机要先进不少 。
不过这并不是重点 ， 重点是这款氟化氩光刻机是DUV光刻机 ， 这表明我国已经成为继荷兰、日本之外的第三个可以生产DUV光刻机的国家 。
我们可以骄傲的说 ， 在光刻机的研制上 ， 我国已经达到世界主流水平 ， 是光刻机市场不可或缺的中坚力量 。
写在最后
虽然这几年我国受制于三方联盟的半导体设备出口管制 ， 但不管是从ASML采购的光刻机数量 ， 还是我国光刻机工艺的突破 ， 我们已经取得了辉煌的成果 。 正因为如此 ， 有外媒才表示:光刻机限制已经尘埃落定了 ， 三方联盟已经无计可施了 。
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